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TAZMO語録

あーるわんあーるつうじくR1・R2軸

ロボットのアームの伸縮方向の軸

あらいなーアライナー

ウエハーのオリフラ(ノッチ)の角度合わせを行う装置(角度合わせと中心位置補正をするタイプもある。)

まっぴんぐマッピング

カセット内のワークの有無の確認動作

あなろぐたいぷアナログタイプ

アライメントユニットに使用されているラインセンサーの受光部素子の種類

れーるれすこうぞうレールレス構造

直角座標系の動作が可能であるため、レール無しで並列に置かれたカセットへアクセスできる

ようせつべろーずしーるほうしき溶接ベローズ(シール方式)

Z軸の大気と真空のシール方式

べるぬーいふぃんがーベルヌーイフィンガー

ウエハーの裏側にクリーンエアーを噴射させウエハーを浮遊させエッジをクランプする方法

ぶらんちあーむこうぞうブランチアーム構造

2本の独立したアームにハンドを持たせた従来のWアームロボットに対して、旋回径を小さくする為にベースとするアームの肘軸にエンドエフェクターのあるアームを2本搭載した構造

ふりーあくせすろぼっとフリーアクセスロボット

XY座標動作のできるロボットのタツモでの呼称

ぴーじく P軸

チェンジャーの回転軸、または反転機構の回転軸

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