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製品特長
- 全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10＾-1Paの真空環境に対応しております。
- エンドエフェクタ部・ウェーハ把持部の材質について、ご相談下さいませ。
- 昇降(Z軸)無しの仕様にも対応可能です。(ご相談下さいませ)
- フリーアクセスアーム機構を採用し、真空チャンバーの直角座標アクセスが可能です。
製品規格
| 適用ワーク |
Φ100㎜～Φ300㎜ 6inch MASK |
|---|---|
| 動作範囲 | R軸：430㎜(アーム最大到達距離,エンドエフェクタを除く) T軸：370°(原点：±185°) Z軸：380㎜ |
| 繰返し精度 | X,Y方向：±0.3㎜ Z軸：±0.05㎜ |
| ウェーハ把持方法 | 落とし込み |
| ウェーハ把持確認 | N/A |
| 耐真空度 | 10＾-1Pa |
| 制御方法 | RS232C,RS-485(シリアル通信) |
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V~AC230V±10％ 7.5A 1系統 |
| 重量 |
本体：約76kg コントローラ(MCQ)：約16kg |
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