NQS-2

本製品は、φ300mmウェーハに対応したシングルアーム搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

見取図.PDF 見取図.DXF


製品特長

  • 全軸にサーボモーターを使用し、S字加減速制御により、高速かつ高精度で滑らかな搬送を実現しています。
  • マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲

R1軸:290㎜(アーム最大到達距離)
T軸:340deg(原点:±170deg)
Z軸:300㎜

繰返し精度

R1軸::±0.1㎜ (3σ)

T軸:±0.05㎜ (3σ)
Z軸:±0.05㎜ (3σ)

ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認 デジタル表示付き真空センサー
制御方法 RS232C,RS-485
ユーティリティ

電源:単相AC208V 5A 1系統

   :単相AC100V 7.5A 1系統

真空:-80kPa以下 1系統

(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)

重量 本体:約38kg
コントローラ(MCQ):約18kg

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