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製品特長
- 全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10＾-1Paの真空環境に対応しております。
- エンドエフェクタ部・ウェーハ把持部の材質について、ご相談下さいませ。
製品規格
| 適用ワーク |
Φ100㎜～Φ300㎜ 6inch MASK |
|---|---|
| 動作範囲 | R軸：480㎜(アーム最大到達距離,エンドエフェクタを除く) T軸：370°(原点：±185°) |
| 繰返し精度 | R：±0.1㎜ |
| ウェーハ把持方法 | 落とし込み |
| ウェーハ把持確認 | N/A |
| 耐真空度 | 10＾-1Pa |
| 制御方法 | RS232C(シリアル通信) |
| ユーティリティ |
電源：駆動 DC24V±5％ 10A :制御 DC24V±5％ 3.15A |
| 重量 |
本体：約25kg コントローラ(MCQ)：約5kg |
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