MAF-QL

本製品はベルヌーイ効果を利用して、薄厚ウェーハのオリフラ・ノッチ合わせ・センターリングを高速で行うユニットです。

見取図.PDF 見取図.DXF


製品特長

  • ベルヌーイ効果により薄いウェーハや歪みのあるウェーハのアライメント処理が可能です。
  • 接触式では、50μmの極薄ウェーハにも対応可能です。

製品規格

適用ワーク

φ100mm~φ150mm

SEMI/JEIDA規格ウェーハ

※ガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。

処理時間 9.0秒以内(φ150mmを処理時)
処理精度

XY:±0.1mm以内(3σ)

θ:±0.1°以内(3σ)

処理可能範囲

±10mm以内

(ウェーハ中心ズレ量)

ウェーハ保持方法 ウェーハの裏面を最小接触点にて保持
ウェーハ保持確認 原点反射型センサー
通信仕様

RS-232C(シリアル通信)

フォトI/O(パラレル通信)

ユーティリティ

電源:DC24V±10% 5A 1系統

ドライエア1: φ6mm 0.05~0.35MPa 100L/min 1系統

ドライエア2: φ4mm 0.2~0.3MPa 100L/min 1系統

質量 本体:約14kg

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