NQS-1

本製品は､φ300mmウェーハに対応したシングルアーム搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特長

適用ワーク	Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲	R1軸：348㎜(アーム最大到達距離) T軸：340deg(原点：±170deg) Z軸：300㎜
繰返し精度	R1軸：：±0.1㎜　(3σ) T軸：±0.05㎜　(3σ) Z軸：±0.05㎜　(3σ)
ウェーハ把持方法	裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認	デジタル表示付き真空センサー
制御方法	RS232C,RS-485
ユーティリティ	電源：単相AC208V 5A 1系統　　　：単相AC100V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続）
重量	本体：約38kg コントローラ(MCQ)：約18kg

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