MTSR-3

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特長

適用ワーク	Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲	R軸：374㎜(アーム最大到達距離) T軸：370deg(原点：±185deg) Z軸：380㎜
繰返し精度	X,Y方向：±0.1㎜　(3σ) Z軸：±0.05㎜　(3σ)
ウェーハ把持方法	裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認	デジタル表示付き真空センサー
制御方法	RS232C,RS-485
ユーティリティ	電源：駆動 DC24V±5％ 10A :制御 DC24V±5％ 3.15A 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続）
重量	本体：約35kg

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