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製品特長
- 3FOUPにレールレスで対応します。
- チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。
- マッピングセンサーも用意しております。
- R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
- アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
| 適用ワーク | Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ |
|---|---|
| 動作範囲 |
R軸：590㎜(アーム最大到達距離) W軸：360deg(原点：±180deg) P軸：180deg |
| 繰返し精度 |
X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) P軸：0.02deg (3σ) |
| ウェーハ把持方法 | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
| ウェーハ把持確認 | デジタル表示付き真空センサー |
| 制御方法 | RS232C,RS-485 |
| ユーティリティ |
電源：単相AC208V 5A 1系統 ：単相AC100V 7.5A 1系統 真空：-80kPa以下 1系統 （Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続） |
| 重量 | 本体：約50kg コントローラ(MCQ)：約18kg |
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