MAF-QI

本製品はベルヌーイ効果を利用して、薄厚ウェーハのオリフラ･ノッチ合わせ･センターリングを高速で行うユニットです。

製品特長

適用ワーク	φ150mm～φ200mm SEMI/JEIDA規格ウェーハ ※ガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。
処理時間	5.5秒以内(φ200mmを処理時)
処理精度	XY：±0.1mm以内（3σ) θ：±0.1°以内（3σ)
処理可能範囲	±10mm以内 (ウェーハ中心ズレ量)
ウェーハ保持方法	ウェーハの裏面を最小接触点にて保持
ウェーハ保持確認	原点反射型センサー
通信仕様	RS-232C(シリアル通信) フォトI/O(パラレル通信)
ユーティリティ	電源：DC24V±10％ 5A 1系統ドライエア1： φ6mm 0.05~0.35MPa 100L/min 1系統ドライエア2： φ4mm 0.2~0.3MPa 100L/min 1系統
質量	本体：約14kg

product contact_1