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製品特長
- マッピングセンサーも用意しております。
- 磁性流体による気密シールを採用しております。
- クラス1パーティクルフリーのロボットです。(排気ダクト付の場合)
- Z軸内蔵によりカセットエレベータが不要です。
- クラス最小・最軽量のコンパクトデザインです。
- 5軸ステッピングモーターと最適加減速制御により高速且つスムーズな搬送を実現します。
- 高剛性のアームと独自の駆動方法により､アームの直進性に優れております。
製品規格
| 適用ワーク | Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ |
|---|---|
| 動作範囲 |
R1,R2軸：320㎜(アーム最大到達距離) |
| 繰返し精度 |
R1,R2軸：±0.1㎜ (3σ) T軸：±0.05deg (3σ) Z軸：±0.1㎜ (3σ) |
| ウェーハ把持方法 | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
| ウェーハ把持確認 | デジタル表示付き真空センサー |
| 制御方法 | RS232C,RS-485 |
| ユーティリティ |
電源：駆動 DC24V±5％ 8A :制御 DC24V±5％ 3.15A 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続） |
| 重量 |
本体：約25kg コントローラ(NT＊R)：約5kg |
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