MTQ-G

本产品是对应直径450mm晶圆的传送机器人。

产品特点

适用对象	Φ300㎜～～Φ450㎜ SEMI/JEITA規格晶片
运动范围	R轴：590㎜(机械臂最大到达距离) T轴：350deg(原点：±175deg) W轴：360deg(原点：±180deg） Z轴：300㎜ P轴：180deg
往返精确度	X,Y方向：±0.1㎜　(3σ) Z轴：±0.05㎜　(3σ) P轴：0.05deg　(3σ)
晶圆保持方法	可任意选择
晶片保持确认	数字显示真空传感器
控制方式	RS232C,RS-485
适用电源	电源：单相AC200V～AC230 5A 1系统 Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管简易接头连接）
重量	本体：约65kg 控制装置(MCQ)：约18kg

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