MTSR-3

本产品是对应Φ300mm晶圆的智能搬运机器人。

产品特点

适用对象	Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格晶片
运动范围	R轴：374㎜(机械臂最大到达距离) T轴：370deg(原点：±185deg) Z轴：380㎜
往返精确度	X,Y方向：±0.1㎜　(3σ) Z轴：±0.05㎜　(3σ)
晶圆保持方法	可任意选择
晶片保持确认	数字显示真空传感器
控制方式	RS232C,RS-485
适用电源	电源：驱动DC24V±5% 10A ：控制DC24V±5% 3.15A 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管简易接头连接）
重量	本体：约35kg

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