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- TT300A
产品特点
- 对应SEMI F47｡
- 与常规机相比，提高了零件・规格的共通率，实现了低价位｡
- 独自的高速替换系统，晶片的替换时间消减了50%。
- 采用了新的控制系统，动作更高速平稳。
- 与常规机相比运行范围缩小了15%，调节器的容积缩小了50%。
- 可对应2FOUP无导轨。
- 可装映射传感器。
产品规格
| 适用对象 | Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格晶片 |
|---|---|
| 运动范围 | R轴：430㎜(机械臂最大到达距离) T轴：370deg(原点：±185deg) Z轴：330㎜ |
| 往返精确度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) Z轴：±0.05㎜ (3σ) |
| 晶圆保持方法 | 可任意选择 |
| 晶片保持确认 | 数字显示真空传感器 |
| 控制方式 | RS232C,ETHERNET |
| 适用电源 |
电源：单相AC200V～230V 7.5A 1系统 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统 （Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接） |
| 重量 | 本体：约35kg 控制装置(TT300A)：约10kg |
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