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产品特点
- 可有偿选择映射传感器。
- 采用磁性流体密封并具有排气功能。
- 达到一级无尘的清洁搬运装置。
- 由于内置Z轴，无需Cassette Elevator。
- 最小，最轻的紧凑式设计
- 采用5轴步进电机与最适合加减速控制机能，实现了高速平稳的动作。
- 由于高刚性的臂与独自的驱动方式，直行性精良。
产品规格
| 适用对象 | Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格晶片 |
|---|---|
| 运动范围 |
R1,2轴：320㎜(机械臂最大到达距离) |
| 往返精确度 |
R1轴：±0.1㎜ (3σ) T轴：±0.05deg (3σ) Z轴：±0.1㎜ (3σ) |
| 晶圆保持方法 | 可任意选择 |
| 晶片保持确认 | 数字显示真空传感器 |
| 控制方式 | RS232C,RS-485 |
| 适用电源 |
电源：驱动DC24V±5% 8A ：控制DC24V±5% 3.15A 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系统 （Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接） |
| 重量 |
本体：约20kg 控制装置（NT*R）：约5kg |
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