スリットコータ
最大基板サイズ：400x500mm
製品特長
- テーブル移動型塗布装置
- 塗布前プライミング処理による塗布再現性の向上
- 高性能定量吐出ポンプ
- 塗布液材料の省液化
- 広い範囲の基板材料に対応
- リフトピン機構搭載により、基板の取り出しが容易
- ロック機構付安全カバー搭載
- 強酸タイプの塗布材料にもオプション対応可能
- 塗布技術の展開例
- 液晶用ＣＦ材料
- 半導体用層間絶縁膜
- 塗布型透明導電膜
- 高粘度ＰＩ材料
- 有機ＥＬ、有機半導体材料
- 感光性ポジレジスト材料
- その他ご相談ください
製品規格
| 基板サイズ | 最大：４００×５００ｍｍ |
|---|---|
| 基板厚み | 標準：１００μｍ～３ｍｍ （３ｍｍ以上オプション対応可能） |
| ポンプ吐出容量 | 標準：６ｃｃ （１ｃｃ , ２０ｃｃ その他オプション対応） |
| 液充填量 | 最小１２．５ｃｃ （１ｃｃポンプ＋１５０ｍｍノズル使用時） |
| 塗布液粘度 | 標準：０．５～５０ｃＰ オプション：～１００００ｃＰ |
| 塗布均一性 | 標準：＜±３％ （Dry膜厚1.5μm時） |
| 装置本体外形 |
W1400／D950／H2000 (mm) 1000kg |
| 制御ＢＯＸ外形 | W700／D700／H1740 (mm) 100kg |
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