コータ／デベロッパ（ＣＳＸ２０００シリーズ）
ＣＳＸ２０００シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ／デベロッパです。特に厚膜プロセスに対しては、高性能なプロセスユニットを用意しています。
装置の構成にあたっては、必要な被膜形成処理内容、工程能力に応じた処理ユニットを、ユニット単位で必要な数だけ選択／構成できる、クラスタシステムを採用いたしました。
製品特長
＜プラットホーム＞
- ＣＳＸ２０００シリーズは、カセットｔｏカセットで１５０ｍｍ～２００ｍｍウェハーに対応可能な、全自動で被膜形成／現像することの出来る処理装置です。（装置サイズ、レイアウトは都度変わります）
- さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。
＜プロセスユニット＞
- コータ
- 塗布プロセスに対して、スピンコート部／ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部／スピンレスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、数μｍ～１００μｍの膜厚形成が行えます。
- デベロッパ
- 現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。（従来比１／２～１／３）
＜操作性＞
- ＧＵＩ画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。研究開発用から量産用までを考慮したシステム構成が一段と機能性を向上させます。
製品規格
| 適用ワーク | １５０ｍｍ～２００ｍｍウェハー |
|---|---|
| 制御方法 | デスクトップ型パソコンシステムによる一括制御 |
| 電源仕様 | ３φＡＣ２００Ｖ ５０／６０Ｈｚ |
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