MTQ-E

本製品は、φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

見取図.PDF 見取図.DXF


製品特長

  • 3FOUPにレールレスで対応します。
  • チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。
  • マッピングセンサーも用意しております。
  • R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
  • アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

製品規格

適用ワーク Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲

R軸:590㎜(アーム最大到達距離)
T軸:350deg(原点:±175deg)

W軸:360deg(原点:±180deg)
Z軸:300㎜

P軸:180deg

繰返し精度

X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)
Z軸:±0.05㎜ (3σ)

P軸:0.02deg (3σ)

ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認 デジタル表示付き真空センサー
制御方法 RS232C,RS-485
ユーティリティ

電源:単相AC208V 5A 1系統

   :単相AC100V 7.5A 1系統

真空:-80kPa以下 1系統

(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)

重量 本体:約50kg
コントローラ(MCQ):約18kg

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