製品特長
- 独自開発のレーザセンサーによりウェーハの材質を問わず検出が行えます。
- 200mm～300mmのサイズを自動検出します。
- コントローラ内蔵のコンパクトな設計です。
- 高信頼設計による3年保証対象製品です。
製品規格
| 適用ワーク |
φ200mm～φ300mm SEMI/JEIDA規格ウェーハ ※ガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。 |
| 処理時間 | 2.5秒以内 |
| 処理精度 |
XY：±0.1mm以内(3σ) θ：±0.1°以内（3σ) |
| 処理可能範囲 |
±5mm以内 (ウェーハ中心ズレ量) |
| ウェーハ保持方法 | 裏面真空吸着 |
| ウェーハ保持確認 | 圧力センサー |
| 通信仕様 |
RS-232C(シリアル通信) |
| ユーティリティ |
電源：DC24V±10％ 2A 1系統 真空：φ6mm -80kPa以下 15L/min 1系統 |
| 質量 | 本体：約5kg |
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