MAF-HJ

裏面非接触でウェーハへのパーティクル汚染を最小限に抑えたφ200mm対応のメカクランプ方式のアライナーです。

見取図.PDF 見取図.DXF


製品特長

  • ウェーハに対して端面のみの接触で、クリーンアライメントを実現しております。
  • ノッチ、オリフラの種別を自動で識別するため上位コントローラからの設定が不要です。
  • コントローラを内臓したコンパクトなデザインに仕上がっています。

製品規格

適用ワーク

φ200mm

SEMI/JEIDA規格ウェーハ

処理時間

9.0秒以内(持ち替え無し時)

23.0秒以内(持ち替え有り時)

処理精度

θ:±0.2°以内(3σ)

処理可能範囲

±1mm以内

(ウェーハ中心ズレ量)

ウェーハ保持方法 エッジホールド
ウェーハ保持確認 フォトマイクロセンサ
通信仕様

RS-232C(シリアル通信)

ユーティリティ

電源:DC24V±10% 3A 1系統

ドライエア:φ6mm 0.35MPa~0.4MPa 1系統

質量 本体:約8kg

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