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製品特長
- ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理を行ないます。
- φ50.8mm～φ100mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。
- ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。
- コントローラを内蔵したコンパクトなデザインに仕上がっています。
- ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用し、透明ガラス、化合物半導体のアライメントを実現しています。
製品規格
| 適用ワーク |
φ50.8mm～φ100mm SEMI/JEIDA規格ウェーハ ※ガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。 |
| 処理時間 | 4.5秒以内(φ100mmを処理時) |
| 処理精度 |
XY：±0.2mm以内（3σ) θ：±0.2°以内（3σ) |
| 処理可能範囲 |
±4mm以内 (ウェーハ中心ズレ量) |
| ウェーハ保持方法 | 裏面真空吸着 |
| ウェーハ保持確認 | デジタル表示付き真空センサー |
| 通信仕様 |
RS-232C,RS-485(シリアル通信) |
| ユーティリティ |
電源：DC24V±10％ 5A 1系統 真空：-80kPa以下 1系統 ドライエア：0,4MPa±50kPa 1系統 |
| 質量 | 本体：約14kg |
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