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製品特長
- 高信頼性設計による3年保証対象製品です｡
- SEMI F47に対応しています｡
- 従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
- 独自の高速入替機構により､ウェーハ入替時間を50％削減しました｡
- 新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
- 従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
- 高信頼設計による3年保証対象製品です。
- 2FOUPにレールレスで対応します。
- マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
| 適用ワーク | Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ |
|---|---|
| 動作範囲 | R軸：430㎜(アーム最大到達距離) T軸：370deg(原点：±185deg) Z軸：330㎜ |
| 繰返し精度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) Z軸：±0.05㎜ (3σ) |
| ウェーハ把持方法 | 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ |
| ウェーハ把持確認 | デジタル表示付き真空センサー |
| 制御方法 | RS232C,ETHERNET |
| ユーティリティ |
電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続） |
| 重量 | 本体：約35kg コントローラ(TT300A)：約10kg |
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