TT300A-RA

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

見取図.PDF 見取図.DXF


製品特長

  • 高信頼性設計による3年保証対象製品です。
  • SEMI F47に対応しています。
  • 従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。
  • 独自の高速入替機構により、ウェーハ入替時間を50%削減しました。
  • 新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。
  • 従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。
  • 高信頼設計による3年保証対象製品です。
  • 2FOUPにレールレスで対応します。
  • マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲 R軸:430㎜(アーム最大到達距離)
T軸:370deg(原点:±185deg)
Z軸:330㎜
繰返し精度 X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)
Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認 デジタル表示付き真空センサー
制御方法 RS232C,ETHERNET
ユーティリティ

電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統

真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統

(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)

重量 本体:約35kg
コントローラ(TT300A):約10kg
   

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