TIGRIS®シリーズ
バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄・エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタを活用してのプロセス管理で、高品質プロセスを実現します。また、環境フレンドリー且つ、薬液使用量の低減を実現した、リン酸再生システムのPSYRION®やNISON®1800もオプションとして搭載可能です。
製品特長
＜プラットホーム＞
高速処理を可能にする搬送システムを搭載しています。
＜プロセスユニット＞
・各種モニタを利用した管理方法により、高品質プロセスを実現します。
・オプションのリン酸再生システムのPSYRION®やNISON®1800を搭載することで、環境対策、薬液使用量の低減に貢献 します。
・プロセスモジュールを自由にレイアウトすることが可能です。
＜操作性＞
視認性に優れたインターフェースを採用しています。
製品規格
<適用ワーク>
φ200 & 300 mmウェーハ
商品についてのお問い合わせ
