VAPシリーズ
リフトオフシステムVAP200™/VAP300™は、バッチ浸漬式洗浄モジュールと枚葉式洗浄モジュールを複合させたユニークな装置構成となっており、フォトレジストやフィルムの剥離処理に適した洗浄装置です。
製品特長
＜プラットホーム＞
バッチ浸漬槽での一括洗浄と枚葉処理チャンバーの精密洗浄を合わせることにより、効率的なタクトタイムで清浄な剥離処理が行えます。また、高温薬液処理、高圧スプレー処理も対応可能です。オプションとして、防爆仕様にも対応可能です。
＜プロセスユニット＞
・多種多様な有機溶媒に対応したハード構成となっています。
・8"および12" の口径に対応いたします。
＜操作性＞
視認性に優れたインターフェースを採用しています。
製品規格
<適用ワーク>
φ200 & 300 mmウェーハ
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