粉体酸化剤溶解・供給システム
メタルCMP工程で使用される粉体状の酸化剤（APS）に対応した装置です。オンサイトで粉体の溶解、水溶液の濃度調整、CMPへの供給が行えます。
製品特長
・粉体溶解機能付きドラムキャビネット。
・供給装置はNew MX2000またはiSIS1200Jがベースとなります。
・複数台のCMP装置への集中供給が可能です。
・タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。
・アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。
・手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。
・濃度計、フィルター搭載。
・粉体容器サイズ変更など各種カスタマイズに対応しています。
・付帯ユニット例として、バルブボックス、電源盤、監視盤などをラインナップしています。
製品規格
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