iSIS1200J
iSIS1200Jは、2つのキャビネットそれぞれに混合部、供給部、タンクを搭載した装置です。冗長性によるダウンタイムの防止、メンテナンス時のバックアップ運転、2種類のスラリーを1台で供給、といったフレキシブルな運用が可能です。
製品特長
・2系統の混合/供給部を搭載しています。
・真空吸引/窒素ガス圧送による供給方式です。
・複数台のCMP装置への集中供給が可能です。
・タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。
・アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。
・手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。
・ポンプ供給方式への変更など各種カスタマイズに対応しています。
・付帯ユニット例として、ドラムキャビネット、バルブボックス、モニタリング機器、フィルター、電源盤、監視盤
などをラインナップしています。
製品規格
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