CENOTE®

枚葉式洗浄システムCENOTE®は、マルチカップ方式を採用した多機能枚葉式洗浄装置です。クリーンな液体をウェーハ表面に連続供給すると同時に、薬液の種類、混合比率、流量、温度を正確にコントロールすることにより高清浄度洗浄、精密エッチングを実現します。


製品特長

<プラットホーム>
ウェーハの両面同時処理が可能であるため、ウェーハ裏面の汚染を防止でき、ウェーハ裏面の後処理を省略できます。マルチカップ方式及び各カップにおける連続数次処理により、ハイスループットを実現します。コストパフォーマンスに優れた装置です。 

<プロセスユニット>
・酸系薬液用処理モジュール、アルカリ系薬液用処理モジュール、有機系薬液用処理モジュールを用意し、お客様ニーズに 合わせた装置構成にも対応可能です。
・2流体タイプのスプレーノズルや超音波スプレーノズルなども搭載可能であり、8"および12" の口径に対応いたします。

<操作性>
視認性に優れたインターフェースを採用しています。

製品規格

<適用ワーク>
φ200 & 300 mmウェーハ


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