テープフレーム対応洗浄装置
テープフレームに貼っているウエハごと
デバイス表面の洗浄を行います。
テープフレームは、専用のガードにより溶剤接触はありません。
製品特長
＜プラットホーム＞
- タツモマルチレイアウト機構採用により、ユニット単体から、装置化まで多彩な形態をご提供。
＜プロセスユニット＞
- 高段差デバイス形状対応
- 選択式ノズルシステム
- 2流体スプレー搭載可能
- 超音波洗浄機構搭載可能
- 廃液タンク濾過方式選択可能
＜操作性＞
- ＧＵＩ画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。
製品規格
| テープフレーム対応洗浄装置 | TWH-CCシリーズ |
| サイズ | テープフレーム8インチ、12インチ用 |
| 回転数 | 0 ~ 1500[rpm] |
| ノズル搭載数 | 2系統 |
| その他 | 安全仕様準拠 |
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