支持体剥離洗浄装置
熱硬化型/可塑型材料で貼合されたデバイスの支持体を剥離する装置です。
機械剥離後、残渣洗浄まで自動で行います。
テープフレームをハンドリングしますので、デバイスの薄化は理論上、可能な数値の極限まで
薄化可能です。
製品特長
＜プラットホーム＞
- タツモマルチレイアウト機構採用により、ユニット単体から、装置化まで多彩な形態をご提供。
＜プロセスユニット＞
- 機械剥離ユニット搭載
- 洗浄機構搭載
- 防爆、消防法等、各種安全仕様
＜操作性＞
- ＧＵＩ画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。
製品規格
| 支持体機械剥離洗浄一貫装置 | TWH-SR-CCシリーズ |
| 供給ワークサイズ | ダイシングフレーム8インチ、12インチ用 |
| 供給ワークカセットローダー | ダイシングフレームカセット/ロードポート |
| 支持体収納アンローダー | OPENカセット式アンローダー |
| EFEM | ロボット、アライナ搭載 |
| 機械剥離 | 1ユニット搭載可能 |
| 洗浄機構 | 最大2ユニット搭載可能 |
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