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機械剥離装置
タツモが長年かけて開発した機械剥離装置は他社にない、圧倒的な剥離力を秘めており、かつデバイス、支持体にソフトな構造になっています。
(特許)
製品特長
＜プラットホーム＞
- 熱硬化/可塑型対応 (室温)機械剥離装置
＜プロセスユニット＞
- タツモ独自剥離機構(特許申請中) Ultra Smoothness
- ダイシングフレームに貼り付けし処理します。
＜操作性＞
- ＧＵＩ画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。
製品規格
| 機械剥離装置 | TWH-SRシリーズ |
| 処理ワーク |
φ150～300mmウエハ |
|
支持体基板 |
Si , GLASS 等 |
| ダイシングフレーム、テープ | 使用する |
| チャック | ポーラスチャック |
| 剥離機構 | トルク測定式タツモオリジナルブレード搭載 |
| その他 | 室温 |
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