コータ／デベロッパ（ＳＰＲ３０００シリーズ）
ＳＰＲ３０００シリーズは、特に高速処理に特化したタツモフラッグシップコーターデベロッパーです。
装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、ユニット単位で必要な数だけ選択／構成できる、クラスタシステムを採用。
オーバーベーク、タクト管理機能も搭載しています。
製品特長
＜プラットホーム＞
- ＳＰＲ３０００シリーズは、カセットｔｏカセットで２００ｍｍ～３００ｍｍウェハーに対応可能な全自動処理装置です。
- さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。
＜プロセスユニット＞
- コータ
- 塗布プロセスに対して、スピンコート部／ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、
回転カップ部／スピンレスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、数μｍ～１００μｍの膜厚形成が行えます。 - デベロッパ
- 現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。
- 厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。（従来比１／２～１／３）
- ベーク
- オーバーベーク機構搭載 ＭＡＸ １６個設置可能
- クールプレート
- 高粘度塗布対応
- 厚膜塗布対応
- 高温ベーク搭載可能（Ｏｐｔｉｏｎ）
＜操作性＞
- ＧＵＩ画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。
製品規格
| ＷＯＲＫ | ２００ｍｍ～３００ｍｍウェハー |
|---|---|
| ＣＵＰ | Ｃｏａｔ＋ＤＥｖ＝ Ｍａｘ ４’ｓ |
| ＢＡＫＥ | ＭＡＸ １６’ｓ （２５０℃） ｉｎｃｌｕｄｅ Ｏｖｅｒｂａｋｅｒｉｄｅ ｆｕｎｃｔｉｏｎ． |
| ＣｏｏｌＰｌａｔｅ | 〇 |
| High viscosity | Original Pump |
| High temperature Bake | (Max 450℃) (Option) |
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