支持体再生 剥離層塗布装置
支持体となるガラスには、あらかじめリリース層となる膜を塗布しておく必要があります。またデマウンターで剥離後、回収された支持体にしリリース層の残渣が付着しているため洗浄カップで洗浄後に、リリース層を塗布します。ID管理機能によりガラスの使用された回数のカウントが可能です。
製品特長
＜プラットホーム＞
- ロボット搬送軸を中心に、横方向にユニットが校正されています。
- コーターで実績のあるノウハウを投入し塗布の難しいリリース層の液を高精度に仕上げます。
＜プロセスユニット＞
- 25WPHのスループットを達成
- 自動攪拌タンク
- キャニスターキャビネット
- 塗布カップ × 1
- 洗浄カップ × 1 (反転機構、スクラブブラシ搭載)
- ベークプレート × 3 (250℃仕様)
- 画像検査システム(Option)
- 有機溶剤を使用します。設置地域条例により条件がかわるばあいがあります。
＜操作性＞
- ＧＵＩ画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。
製品規格
| デマウンター | 2000シリーズ | 3000シリーズ |
| 処理ワーク |
φ150～200mm ガラス(±1.0) |
φ200～300mm ガラス(±1.0) |
| 使用主剤 |
お問い合わせ願います。 |
お問い合わせ願います。 |
| 溶剤 | お問い合わせ願います。 | お問い合わせ願います。 |
| 塗布カップ | × 1 | × 1p |
| 洗浄カップ | × 1 | × 1 |
| ベーク(250℃MAX) | × 3 | × 3 |
| カセット形式 | OPENカセット | OPENカセットまたはFOSB |
| その他 | 安全仕様準拠 | 安全仕様準拠 |
商品についてのお問い合わせ
