NTWR-2

本製品は、Φ200mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

見取図.PDF 見取図.DXF


製品特長

  • マッピングセンサーも用意しております。
  • 磁性流体による気密シールを採用しております。
  • クラス1パーティクルフリーのロボットです。(排気ダクト付の場合)
  • Z軸内蔵によりカセットエレベータが不要です。
  • クラス最小・最軽量のコンパクトデザインです。
  • 5軸ステッピングモーターと最適加減速制御により高速且つスムーズな搬送を実現します。
  • 高剛性のアームと独自の駆動方法により、アームの直進性に優れております。

製品規格

適用ワーク Φ100㎜~Φ200㎜
SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲

R1,R2軸:250㎜(アーム最大到達距離)
T軸:340deg(原点:±170deg)
Z軸:300㎜

繰返し精度

R1,R2軸:±0.1㎜ (3σ)

T軸:±0.05deg (3σ)

Z軸:±0.1㎜ (3σ)

ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認 デジタル表示付き真空センサー
制御方法 RS232C,RS-485
ユーティリティ

電源:駆動 DC24V±5% 8A

      :制御 DC24V±5% 3.15A

真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統

(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)

重量

本体:約25kg

コントローラ(NT*R):約5kg

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