NQS-Z

本製品は､φ450mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特長

適用ワーク	Φ300㎜～Φ450㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲	R軸：494㎜(アーム最大到達距離) T軸：340deg(原点：±170deg) Z軸：300㎜
繰返し精度	R軸：±0.1㎜　(3σ) T軸：±0.05㎜　(3σ) Z軸：±0.05㎜　(3σ)
ウェーハ把持方法	裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認	デジタル表示付き真空センサー
制御方法	RS232C,RS-485
ユーティリティ	電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブワンタッチ継手接続）
重量	本体：約55kg コントローラ(MCQ)：約18kg

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