NQS-2

本产品是对应晶片Φ300mm的单臂智能搬运机器人。
是龙云产品中实现高速传送，高清洁的基本版。

产品特点

适用对象	Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格晶片
运动范围	R1轴：290㎜(机械臂最大到达距离) T轴：340deg(原点：±170deg) Z轴：300㎜
往返精确度	R1轴：±0.1㎜　(3σ) T轴：±0.05㎜　(3σ) Z轴：±0.05㎜　(3σ)
晶圆保持方法	可任意选择
晶片保持确认	数字显示真空传感器
控制方式	RS232C,RS-485
适用电源	电源：单相AC208V 5A 1系统：单相AC100V 7.5A 1系统真空：-80kPa以下 1系统（Φ6 ×Φ4 聚氨酯管简易接头连接）
重量	本体：约38kg 控制装置(MCQ)：约18kg

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