TT300A-WA

本制品是应对EFEM开发的低价格,高性能智能传送机器人。 是龙云产品中事先高速传送,高清洁的旗舰版。


产品特点

  • 对应SEMI F47。
  • 与常规机相比,提高了零件・规格的共通率,实现了低价位。
  • 采用了新的控制系统,动作更高速平稳。
  • 与常规机相比运行范围缩小了15%,调节器的容积缩小了50%。
  • 可对应2FOUP无导轨。
  • 可装映射传感器。

产品规格

适用对象 Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格晶片
运动范围 R轴:346㎜(机械臂最大到达距离)
T轴:370deg(原点:±185deg)
Z轴:330㎜
往返精确度

R轴:±0.1㎜ (3σ)

T轴:0.02deg (3σ)
Z轴:±0.05㎜ (3σ)

晶圆保持方法 可任意选择
晶片保持确认 数字显示真空传感器
控制方式 RS232C,ETHERNET
适用电源

电源:单相AC200V~230V 7.5A 1系统

真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统

(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)

重量 本体:约35kg
控制装置(TT300A):约10kg

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