产品特点
- 全轴采用伺服电机，根据独自的构造，支持10＾-6Pa的真空环境。
- 关于末端执行器部，晶圆保持部的材质请另行咨询。
- 也可以提供无升降功能（Z轴）的机型。（请您咨询）。
- 采用自由访问型机构，可以在真空箱内进行直角坐标动作。
产品规格
| 适用对象 |
Φ100㎜～Φ300㎜ 6英寸 MASK |
|---|---|
| 运动范围 |
R轴：590㎜(机械臂最大到达距离，不含末端控制器) T轴：370deg(原点：±185deg) W1/W2:370°(原点：±185°) Z轴：160㎜ |
| 往返精确度 | X,Y方向：±0.1㎜ Z轴：±0.05㎜ |
| 晶圆保持方法 | 下托式 |
| 晶片保持确认 | N/A |
| 耐真空度 | 10＾-6Pa |
| 控制方式 | RS232C |
|
适用电源 |
电源：单相AC200V～230V±10％ 25A 1系统 |
| 重量 | 本体：约120kg 控制装置(MCQ)：约20kg |
关于产品的咨询
