产品特点
- 全轴采用伺服电机，根据独自的构造，支持10＾-1Pa的真空环境。
- 关于末端执行器部，晶圆保持部的材质请另行咨询。
产品规格
| 适用对象 |
Φ100㎜～Φ300㎜ 6英寸 MASK |
|---|---|
| 运动范围 | R轴：480㎜(机械臂最大到达距离，不含末端控制器) T轴：370deg(原点：±185deg) |
| 往返精确度 | R:±0.1mm |
| 晶圆保持方法 | 下托式 |
| 晶片保持确认 | N/A |
| 耐真空度 | 10＾-1Pa |
| 控制方式 | RS232C（串列通信） |
|
适用电源 |
电源：单相DC24V±５％ 10A ：控制DC24V±５％ 3.15A |
| 重量 | 本体：约25kg 控制装置：约5kg |
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