MTQ-D

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。
是龙云产品中事先告诉传送,高清洁的旗舰版。


产品特点

  • 以无导轨方式对应2FOUP
  • 可以有偿选择映射传感器
  • R・T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。
  • 提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

产品规格

适用对象 Φ300㎜
SEMI/JEITA規格晶片
运动范围

R轴:480㎜(机械臂最大到达距离)
T轴:350deg(原点:±175deg)

W轴:360deg(原点:±180deg) 
Z轴:300㎜

P轴:180deg

往返精确度

X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)
Z轴:±0.05㎜ (3σ)

P轴:0.1deg (3σ)

晶圆保持方法 可任意选择
晶片保持确认 数字显示真空传感器
控制方式 RS232C,RS-485
适用电源

电源:单相AC200V~AC230  5A 1系统

Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统

(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)

重量

本体:约60kg
控制装置(MCQ):约18kg

关于产品的咨询

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