NTSR-1

本产品是对应Φ300mm晶圆的智能搬运机器人。


产品特点

  • 可有偿选择映射传感器。
  • 采用磁性流体密封并具有排气功能。
  • 达到一级无尘的清洁搬运装置。
  • 由于内置Z轴,无需Cassette Elevator。
  • 最小,最轻的紧凑式设计
  • 采用5轴步进电机与最适合加减速控制机能,实现了高速平稳的动作。
  • 由于高刚性的臂与独自的驱动方式,直行性精良。

产品规格

适用对象 Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格晶片
运动范围

R1,2轴:320㎜(机械臂最大到达距离)
T轴:340deg(原点:±170deg) 
Z轴:300㎜

往返精确度

R1轴:±0.1㎜ (3σ)

T轴:±0.05deg (3σ)

Z轴:±0.1㎜ (3σ)

晶圆保持方法 可任意选择
晶片保持确认 数字显示真空传感器
控制方式 RS232C,RS-485
适用电源

电源:驱动DC24V±5%  8A

      :控制DC24V±5%  3.15A

真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系统

(Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接)

重量

本体:约20kg

控制装置(NT*R):约5kg

关于产品的咨询

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