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产品特点
- 可以有偿选择映射传感器
产品规格
| 适用对象 | Φ300㎜～Φ450㎜ SEMI/JEITA規格晶片 |
|---|---|
| 运动范围 |
R轴：494㎜(机械臂最大到达距离) |
| 往返精确度 |
R轴：±0.1㎜ (3σ) T轴：±0.05㎜ (3σ) |
| 晶圆保持方法 | 可任意选择 |
| 晶片保持确认 | 数字显示真空传感器 |
| 控制方式 | RS232C,RS-485 |
| 适用电源 |
电源：单相AC200V～AC230 5A 1系统 Dryair:0.5MPa 150L/min以上 1系统 （Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 简易接头 连接） |
| 重量 |
本体：约55kg 控制装置(MCQ)：约18kg |
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