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预对准校正机
MAF-Q
SERIES
对应薄形晶圆
伯努利校正机
MAF-G
SERIES
支持高速化合物,玻璃制品
背面吸附方式
MAF-A
SERIES
支持硅晶圆
背面吸附式
MAF-M
SERIES
支持高速化合物,玻璃制品
边缘保持式
MAF-H
SERIES
支持硅晶圆
边缘保持式